沈阳IC装备产业迈入快速发展期

　　企业订单源源不断，车间必须24小时连轴转。今年产值预计可达2.5亿元，将比上年增长100%……3月6日，沈阳IC装备产业园内，国内唯一IC装备精密零部件全制程工艺解决方案提供商——沈阳富创精密设备有限公司里生产繁忙。

　　富创的快速成长，正是沈阳IC（集成电路）装备产业发展的一个缩影。从沈阳市经信委获悉，2016年，沈阳IC装备产业实现销售收入19.4亿元，同比增长14.9%。

　　集成电路与国民经济及百姓生活密切相关，小到U盘、手机，大到飞机及尖端武器，都离不开集成电路。正因其重要的战略价值，发达国家一直对先进集成电路制造技术、产品输出进行严格控制。

　　IC装备，就是生产集成电路的装备。沈阳IC装备产业以整机和精密零部件结合为特色，建立了全国第一个IC装备制造产业基地，拥有国内唯一的IC装备产业技术创新战略联盟。通过人才引进、国际合作、自主创新等方式，沈阳IC装备产业实现了从小到大、由弱到强的跨越式发展。引进7个海外专家团队，培养出一批高素质专业技术人才；突破了一批制约我国IC装备产业发展的关键技术，开发出匀胶显影、罗茨干泵、洁净机械手等一批填补国内空白、具有良好产业化前景的整机装备和单元部件产品。

　　国家“千人计划”专家、沈阳拓荆科技有限公司董事长姜谦，就是沈阳引进的高端领军人才代表。通过技术攻关，拓荆科技成功研制了PECVD薄膜设备、ALD设备、新一代闪存领域薄膜设备3D  NAND三个系列产品，填补多项国内空白。经验证，其产品指标等同或优于国外同类产品，成本却比进口设备低了30%。

　　拓荆科技销售收入连年翻番，2016年较上年增长超过150%，预计今年拓荆科技的人均产值将达到100万元。姜谦介绍，拓荆新厂现已投入运行，一期可实现100台套生产能力，全部投产后年产能可达350台套，支撑最大年产值50亿元。

　　市经信委相关负责人介绍，沈阳IC    装备产业已经度过最艰难的“孵化期”，进入了快速发展和产业化阶段，现已形成“一项控制系统技术、四类重要整机装备、一批关键单元部件和一个关键零部件支撑平台”的生产配套能力，与北京、上海共同构成我国IC装备产业发展三大重点地区。