沈阳IC装备产业以“创新”实现“突破”

　　7月3日，记者在沈阳拓荆公司的洁净间看到，科研人员正在对几台新产品做出厂前的最后检测。这些即将应用在国内12英寸芯片制造生产线的PECVD设备必须要经过4000片晶圆产品的检测之后，才能达到设备可靠性、工艺稳定性等一系列指标。

　　研发设备填补国内空白

　　拓荆公司生产的这种PECVD设备是芯片制造生产线上的四种主要设备之一，用于芯片制造的镀膜沉积环节。一条投资50亿美元左右的芯片生产线，需要8亿美元采购这种镀膜设备。

　　目前，拓荆公司自主研发的PECVD设备各项技术性能指标、工艺指标全部达到国际一流设备水平，且成本仅为进口设备的70%，一举打破了国内现有12英寸芯片生产线上的PECVD设备长期被进口设备垄断的尴尬局面，填补了国内空白。

　　IC装备企业“百花齐放”

　　与拓荆公司发展势头一致的还有同样位于浑南新区飞云路上的沈阳芯源微电子设备有限公司。

　　近期，芯源公司自主研发了新一代适用于芯片制造高端封装领域的涂胶显影机，已经获得大客户的批量订单。与此同时，芯源公司自主研发的前道堆叠式涂胶显影机正在武汉新芯公司现场进行工艺测试验证，这是我国前道涂胶显影设备首次实现大生产线验证应用。

　　在芯源公司隔壁，沈阳富创精密设备有限公司，是目前国内唯一的IC装备精密零组件全制程工艺解决方案提供商，已经为国内130多家半导体装备企业提供了精密零部件的配套服务。同时，还是美国应用材料和日本东京电子的全球战略合作伙伴。

　　建成国内最完整装备产业链

　　从无到有，从小到大、由弱到强。经过十年积淀、攻关积累，沈阳市IC装备企业突破了一批制约我国IC装备产业发展的关键技术。

　　据沈阳市科技局高新处介绍，目前，在位于沈阳浑南新区飞云路上的多家IC装备行业企业开发出的一批填补国内空白、市场需求量大的集成电路整机装备和核心单元部件产品，已经建立起国内最完整的集成电路装备产业链条，并演进为一个极具本地根植性的创新型产业集群，是沈阳新兴产业培育的一个典型代表，更成为全省高端装备制造业发展的典范。

　　沈阳日报、沈阳网记者黄超