极大规模集成电路制造技术及成套工艺

　　4月3日记者从沈阳市有关部门了解到，由沈阳富创精密设备有限公司承担的“十二五”国家科技重大专项“IC设备关键零部件集成制造技术与加工平台”3月26日顺利通过国家02专项办验收。而浑南区已有新松机器人、芯源微电子、拓荆科技、富创精密等6家企业承担了14项国家02科技重大专项，累计获得国家资金支持6. 沈阳市人民政府

　　本报讯(沈阳日报、沈阳网记者黄超)4月3日记者从沈阳市有关部门了解到，由沈阳富创精密设备有限公司承担的“十二五”国家科技重大专项“IC设备关键零部件集成制造技术与加工平台”3月26日顺利通过国家02专项办验收。而浑南区已有新松机器人、芯源微电子、拓荆科技、富创精密等6家企业承担了14项国家02科技重大专项，累计获得国家资金支持6. Syd.Com.Cn

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